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  多種解決方案實(shí)現(xiàn)多種材料，多層材料的表面薄膜厚度及微區(qū)薄膜厚度的自動(dòng)測(cè)量。

不同波長下干涉譜測(cè)量膜厚的配置方案

                                        膜厚干涉原理                                                                                白光干涉譜

                                       膜厚測(cè)量模塊                                                                            顯微膜厚測(cè)量模塊

                                             中紅外光源                                                                            中紅外光譜儀